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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科A2KH-25U進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：

進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科 A2KH-25U 脈沖和直流電源系統(tǒng)
進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)：A2KH-25U

更新時(shí)間：2025-11-12

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：57

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進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)


脈沖和直流電源系統(tǒng)
脈沖單元 _A2K系列Model: A2K

ULVAC



A2K 系列作為直流電源的外部單元提供，是一種防止異常放電的單元，可將直流輸出轉(zhuǎn)換為脈沖輸出并中和目標(biāo)上的電荷。
  • 進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

    A2KH-25U

  • 進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

    A2K-20K/40K

特點(diǎn)

  • 通過減少異常放電，可以輸入高功率。

  • 可以減少電弧引起的基板損傷。

  • 可連接現(xiàn)有設(shè)備 *1

  • A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：1kHz ~ 50kHz

  • 可同步多個(gè)A2K單元的輸出脈沖 *2 *3

  • A2K-20K 和 40K 最多可并聯(lián)運(yùn)行 6 臺(tái)。

應(yīng)用：脈沖同步系統(tǒng)

進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

當(dāng)陰極在同一腔室中彼此靠近且陰極彼此相對(duì)時(shí)，或者當(dāng)多個(gè) A2K 的放電發(fā)生干擾時(shí)，可以通過將 A2K 的反向脈沖設(shè)置為同一相位來使用相位控制功能來防止放電的干擾 *3 *4


*1：可連接到我們的直流電源
*2：無法通過混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 進(jìn)行脈沖同步和并聯(lián)操作
*3：A2KH-25U 需要外部同步單元 （PHSM/PHSS）
*4：A2K-20K/40K 需要光同步電纜（Pulse link 電纜）

規(guī)格

ModelA2KH-25UA2K-20KA2K-40K
控制電源輸入輸入電壓單相的 AC90-110V單相的 AC100-240V
輸入電容100VA 或更低400VA 或更低
輸入規(guī)格工作電壓-100～-800V
工作電流25A50A100A
額定輸入功率10kW20kW40kW
輸出規(guī)格振蕩頻率1k-20kHz1k-50kHz
反向電壓脈沖寬度5μs/10μs　通過內(nèi)部開關(guān)切換3μ-18μs（振蕩頻率是有限的）
操作模式連續(xù)/1 脈沖/路徑
輸出格式Single Target
冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷
外形尺寸（W×D×H） 不包含突起238×450×149（mm）480×630×177（mm）
質(zhì)量16kg30kg45kg
適合規(guī)格RoHS（歐洲）CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲）


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