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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科MFU-20K原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：

原裝ULVAC日本愛發(fā)科 MFU-20K 脈沖和直流電源系統(tǒng)
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

產(chǎn)品型號：MFU-20K

更新時間：2025-11-12

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：140

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原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)




為實現(xiàn)更優(yōu)質(zhì)的薄膜沉積過程而提供的可后裝雙極單元


脈沖和直流電源系統(tǒng)
雙極單元 _MFUModel: MFU

ULVAC



MFU 可用作直流電源的外部單元，是一種用于雙陰極濺射的 MF 電源。 它不僅對金屬膜有效，而且對反應(yīng)沉積也有效。 實現(xiàn)了穩(wěn)定的濺射，而不會損失陽極。

    特點

    • 可在 10kHz~100kHz 范圍內(nèi)使用 *1

    • 主/從連接最多可并聯(lián) 6 臺

    • 與我們的直流電源組合使用，可以輕松實現(xiàn)與雙陰極兼容的放電方式。
      *1：振蕩頻率超過60kHz 時，輸出功率、電壓和電流會受到限制。

    規(guī)格

    ModelMFU-20K
    控制電源輸入輸入電壓単相 AC100-240V
    輸入電容400VA 或更低
    輸入規(guī)格工作電壓0～-1000V
    工作電流50A
    額定輸入功率20kW
    輸出規(guī)格振蕩頻率10k-100kHz（輸出限制高于61kHz）
    額定輸出電壓1000V（RMS）
    額定輸出電流50A（RMS）
    輸出格式Dual Target
    冷卻方式強制風(fēng)冷
    外形尺寸（W×D×H） 不包含突起480×630×177（mm）
    質(zhì)量29kg
    適合規(guī)格CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲）


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