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產(chǎn)品型號(hào)：A2K-20K
更新時(shí)間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：38
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
A2KH-25U
A2K-20K/40K
通過減少異常放電，可以輸入高功率。
可以減少電弧引起的基板損傷。
可連接現(xiàn)有設(shè)備 *1
A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：1kHz ~ 50kHz
可同步多個(gè)A2K單元的輸出脈沖 *2 *3
A2K-20K 和 40K 最多可并聯(lián)運(yùn)行 6 臺(tái)。
應(yīng)用：脈沖同步系統(tǒng)
當(dāng)陰極在同一腔室中彼此靠近且陰極彼此相對(duì)時(shí)，或者當(dāng)多個(gè) A2K 的放電發(fā)生干擾時(shí)，可以通過將 A2K 的反向脈沖設(shè)置為同一相位來使用相位控制功能來防止放電的干擾 *3 *4
| Model | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制電源輸入 | 輸入電壓 | 單相的 AC90-110V | 單相的 AC100-240V | |
| 輸入電容 | 100VA 或更低 | 400VA 或更低 | ||
| 輸入規(guī)格 | 工作電壓 | -100～-800V | ||
| 工作電流 | 25A | 50A | 100A | |
| 額定輸入功率 | 10kW | 20kW | 40kW | |
| 輸出規(guī)格 | 振蕩頻率 | 1k-20kHz | 1k-50kHz | |
| 反向電壓脈沖寬度 | 5μs/10μs 通過內(nèi)部開關(guān)切換 | 3μ-18μs（振蕩頻率是有限的） | ||
| 操作模式 | 連續(xù)/1 脈沖/路徑 | |||
| 輸出格式 | Single Target | |||
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 238×450×149（mm） | 480×630×177（mm） | ||
| 質(zhì)量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 適合規(guī)格 | RoHS（歐洲） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||
