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產(chǎn)品型號：EGL-103S
更新時間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
EGL-103S
EGL-35
EGL-35M
EGL-110
EGL-80M
由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，因此二次電子對沉積體的影響極小。
即使是可升華的材料，也可以通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點來順利蒸發(fā)，從而消除挖洞現(xiàn)象。 （日本國 831485 號 843447）
電子束是 270° 偏轉(zhuǎn)的，因此不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸氣中，燈絲的使用壽命長。
發(fā)射器組件易于安裝和拆卸，便于更換燈絲、絕緣體等。
| Model | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 電子束偏轉(zhuǎn)角 | 270° | |||||
| 坩堝數(shù)量 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| 坩堝容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| 坩堝尺寸： 頂部 × 底部× 深度 | 35Φ×31Φ×11H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm） | 75Φ×59Φ×32H（mm） | 75Φ×57Φ×32H（mm） | |
| 冷卻水量 | 爐邊 | 10L/min 或更高 | 19L/min 或更高 | 20L/min 或更高 | ||
| 其他 | 2L/min 或更高 | - | 2L/min 或更高 | ー | 4L/min 或更高 | |
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 313×250×108（mm） | 160×206×79（mm） | 170×240×156（mm） | 136×220×90（mm） | 265×318×168（mm） | |
| 質(zhì)量 | 約16公斤 | 約10公斤 | 約18公斤 | 約15公斤 | 約30公斤 | |
| 沉積速率 | - | 1.8μm/min 或更高 （Al/8kW/ハ爐膛正 上方 250H） | 1.6μm/min 或更高 （Al/8kW/爐膛正上方 250H） | 4.5μm/min 或更高 （Al/16kW/爐膛正 上方 250H） | 4μm/min 或更高 （A| 16kW,/爐膛正 上方 250H） | |
| 最大加速電壓 | -10kV | |||||
| 最大發(fā)射電流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |||
