進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科 DC-5-P/DC-10-P 脈沖和直流電源系統(tǒng)
進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

產(chǎn)品型號：DC-5-P/DC-10-P

更新時間：2025-11-12

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產(chǎn)品介紹

進(jìn)口ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

實現(xiàn)穩(wěn)定反應(yīng)濺射的直流脈沖電源

脈沖和直流電源系統(tǒng)
直流脈沖電源_DC PULSE系列Model: DC PULSE

ULVA

DC PULSE 系列是一種脈沖電源，可有效抑制無功過程中發(fā)生的異常放電。
該電源在設(shè)定的周期內(nèi)反轉(zhuǎn)輸出電壓，并抵消目標(biāo)表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。

Model		DC-5-P	DC-10-P
輸入規(guī)格	輸入電壓	三相 AC208V
	輸入電容	8kVA 或更低	13.5kVA 或更低
輸出規(guī)格	最大額定功率	5kW	10kW
	額定電流	12.5A	25A
	額定電壓	5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V
	振蕩頻率	5k-250kHz
	反向電壓脈沖寬度	0.4μ-5.0μs
	點火電壓	1500V
控制	控制精度	±額定輸出的 0.5% 或設(shè)定值的 ±1% 或更低，以較大者為準(zhǔn)。
	控制保修范圍	額定功率值的 10-100%
	外部控制	Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485）
并聯(lián)運(yùn)行		有
冷卻方式		強(qiáng)制風(fēng)冷
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		483×630×133（mm）
質(zhì)量		29kg	36kg
適合規(guī)格		CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲）