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產(chǎn)品型號：DC-5-P/DC-10-P
更新時間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：87
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產(chǎn)品分類
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實現(xiàn)穩(wěn)定反應濺射的直流脈沖電源
ULVA
通過抑制異常放電，可以輸入大功率。
減少電弧引起的基板損傷
輸出的振蕩頻率可設置為 5kHz 至 250kHz。
最多可并聯(lián)運行 6 臺（僅限同一型號的組合）
通過改變運行模式，也可以用作具有低電弧功能的直流電源。
| Model | DC-5-P | DC-10-P | |
| 輸入規(guī)格 | 輸入電壓 | 三相 AC208V | |
| 輸入電容 | 8kVA 或更低 | 13.5kVA 或更低 | |
| 輸出規(guī)格 | 最大額定功率 | 5kW | 10kW |
| 額定電流 | 12.5A | 25A | |
| 額定電壓 | 5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V | ||
| 振蕩頻率 | 5k-250kHz | ||
| 反向電壓脈沖寬度 | 0.4μ-5.0μs | ||
| 點火電壓 | 1500V | ||
| 控制 | 控制精度 | ±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低，以較大者為準。 | |
| 控制保修范圍 | 額定功率值的 10-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485） | ||
| 并聯(lián)運行 | 有 | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | ||
| 質(zhì)量 | 29kg | 36kg | |
| 適合規(guī)格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||
