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產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科VTR-350M/ERH原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號：VTR-350M/ERH
更新時間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：107
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（最大４層）。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。
| model | VWR-400M/ERH | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 3.0×10-４Pa（液體氮氣使用時） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/10min 3.0×10-３Pa/10min（液體氮氣使用時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ300mm×高300mm) |
| 饋通圈 | 12端口(側(cè)面8/底面4) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □50mm ? □140mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 1點式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴散泵（水冷）（400L/sec) |
| 液體氮氣捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵（200L/min） | |
| 油霧捕集器 | 內(nèi)置捕集器 OMI-200 | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項 | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | GI-M2 | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 730mm（W）×709mm（D）×1161mm（H） |
| 電源 | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
| 質(zhì)量 本體 | 148kｇ | |
| 電源 | 40kg | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
| 型式 | VWR-400M/ERH | |
| 所要時間 | 本體 | 100V 單相 50/60Hz 1.6kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子） 4m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m | |
| 所要水量 | 2.0 L/min （水溫20～25℃、水圧 200kPa（表壓）） | |
| 組合連接 （ソケット） | Rp1/4 （帶有可觸摸配件） | |
| 推薦軟管※ | 滌綸軟管（內(nèi)徑9mm－外徑15mm） | |
※冷卻水管，請客戶自行準(zhǔn)備。
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。
