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更新時間：2025-11-12
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暢銷現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
暢銷現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
ULVAC
將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計(jì)，電離真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（最大４層）。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。
| model | VFR-200M/ERH | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 8.0×10-４Pa 6.0×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/15min 3.0×10-３Pa/15min（液體氮?dú)馐褂脮r） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ300mm×高300mm) |
| 饋通圈 | 12端口(側(cè)面8/底面4) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □50mm ? □140mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 1點(diǎn)式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴(kuò)散泵（空冷）（200L/sec) |
| 液體氮?dú)獠都?/span> | 有 | |
| 補(bǔ)助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵（100L/min） | |
| 油霧捕集器 | 內(nèi)置捕集器 OMI-100 | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補(bǔ)助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項(xiàng) | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | GP-1G |
| 電離真空計(jì) | GI-M2 | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 730mm（W）×603mm（D）×1161mm（H） |
| 電源 | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
| 質(zhì)量 本體 | 145kｇ | |
| 電源 | 40kg | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
| 型式 | VFR-200M/ERH | |
| 所要時間 | 本體 | 100V 單相 50/60Hz 1.4kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子） 4m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m | |
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。
