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產(chǎn)品型號(hào)：μLF-300S
更新時(shí)間：2025-11-18
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：51
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產(chǎn)品分類
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用于控制半導(dǎo)體制造工藝中微小區(qū)域內(nèi)異丙醇、純水、化學(xué)品等的流速。
?測(cè)量低至1毫升/分鐘的微小流速。
?采用數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高精度微小流速測(cè)量。
?傳感器部分不與流體接觸。
?測(cè)量范圍廣。
微型液體流量計(jì) μLF-300S（分體式傳感器）目錄下載
μLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 測(cè)量原理 | 超聲波渡越時(shí)間差法 |
| 待測(cè)量的液體 | 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 *如使用水以外的液體，請(qǐng)?zhí)崆按_認(rèn)。 |
| 適用流體溫度范圍 | 15℃～80℃ *若使用溫度高于60℃，請(qǐng)?jiān)谑褂们按_認(rèn)溫度是否合適 |
| 流體壓力 | 0.5兆帕或更低 |
| 流體運(yùn)動(dòng)粘度 | 100mm2/秒或更小 |
| 流量范圍 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
| 測(cè)量精度 | ±0.5%RD（1/8 英寸：200 至 1000 毫升/分鐘；條件：室溫，恒溫水） ±1 毫升/分鐘（1/8 英寸：0 至 199 毫升/分鐘） ±0.5%RD（1/4 英寸：800 至 4000 毫升/分鐘；條件：室溫，恒溫水） ±4 毫升/分鐘（1/4 英寸：0 至 799 毫升/分鐘） |
| 重復(fù)性 | ±0.2%（純水，液體溫度±0.5℃，30秒平均值） |
| 電源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 3.6瓦或更低 |
| 重量 | 轉(zhuǎn)換器 240 克，檢測(cè)器 70 克 |
| 尺寸（寬x高x深）（毫米） | 轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127 檢測(cè)器 90 x 25 x 20（不含電子管） |
| 檢測(cè)單元 | |
| 管材 | PFA（氟樹脂） |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米；1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米 |
| 結(jié)構(gòu) | IP65 等效 |
| 附帶電纜 | 5米，連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4線RS-422，4線RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA（瞬時(shí)電流），負(fù)載電阻500Ω或更低 |
| 累積脈沖輸出 | 1通道（開集電極） |
| 報(bào)警輸出 | 1通道（開集電極） |
| 聯(lián)系輸入 | 1通道（零流量設(shè)置或清空） |
| 按鍵次數(shù) | 4 個(gè)輸入按鈕 |
