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產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科VTR-060M/ERH跨境現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號：VTR-060M/ERH
更新時間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：49
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
將架臺上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于清潔排氣的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
臺式,小型尺寸可以節(jié)省空間。
配備渦輪分子泵。
只需操作開關(guān),即可實現(xiàn)高真空排氣。
具有可擴展性,可進行多層鍍膜,基板旋轉(zhuǎn)。
適合低熔點金屬鍍膜。
| model | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 10-４臺（真空層內(nèi)無負(fù)荷清潔時） 1.5×10-３Pa（選項規(guī)格） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/20min（真空槽內(nèi)無負(fù)荷清潔時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 圓柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm) |
| 基板 | 7端口（底面） | |
| 基板尺寸?最大尺寸 | □25mm ? □50mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 1點式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM/PSE-150C?1式 0～10V 80A (MAX) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 分子泵(空冷) 60Ｌ/sec |
| 補助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵 20L/min | |
| 油霧捕集器 | OMT-050A | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 選項（蝶閥） |
| 補助閥 | 選項（三通閥） | |
| 自動泄露閥 | 選項（電磁閥） | |
| 真空槽排氣閥 | 選項（泄露口） | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統(tǒng) | 真空計 | 選項 (ISG1) |
| 膜厚計 | 選項 (CRTM-6000G) | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H) |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質(zhì)量 本體 | 50Kg | |
| 電源 | 24Kg | |
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 所要時間 | 本體 | 100Ｖ 單相 50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100Ｖ 單相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭）4m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m | |
※請準(zhǔn)備2個系統(tǒng)的接地插座。
