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產(chǎn)品型號：VPC-061A
更新時間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：102
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
桌面緊湊型，可節(jié)省安裝空間。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
停電時會自動開啟泄露閥，以保護主泵。
| model | VPC-061A | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液體氮氣使用時） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液體氮氣使用時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ150mm×高200mm) |
| 饋通圈 | 3端口(底面3) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □25mm ? □50mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 1點式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴散泵（空冷） 50L/sec |
| 液體氮氣捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵 20L/min | |
| 油霧捕集器 | 選項 | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補助閥 | 三通閥e | |
| 自動泄露閥 | 有 | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計 | 選項 |
| 電離真空計 | 選項 | |
| 設置 | 最大尺寸 本體 | 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H) |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質(zhì)量 本體 | 32kg | |
| 電源 | 40kg | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
| 型式 | VPC-061 | |
| 所要時間 | 本體 | 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m | |
