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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科COVOT-6-X5進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人
產(chǎn)品簡介：

進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科 COVOT-6-X5 真空傳輸機(jī)器人
進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

產(chǎn)品型號：COVOT-6-X5

更新時間：2025-11-12

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：57

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進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

可搬運(yùn)多片晶圓的高吞吐量真空傳送機(jī)器人


真空傳輸機(jī)器人
COVOT系列Model:COVOT

ULVAC

這是一款清潔型多功能真空搬運(yùn)機(jī)器人，融合了 ULVAC 作為真空設(shè)備制造商培養(yǎng)的技術(shù)。
  • 進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

    COVOT-6-X5

  • 進(jìn)口現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機(jī)器人

    COVOT-CR4

特點(diǎn)

  • 有多種臂可供選擇，以適應(yīng)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。

  • COVOT-CR4 由于其磁流體密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

規(guī)格

型COVOT-6-X5COVOT-CR4
工作壓力區(qū)域氣壓～10-1Pa氣壓～10-6Pa
晶圓尺寸200mm/300mm200mm/300mm
持有的晶圓數(shù)量4枚2枚
最大范圍 *880mm1050mm
旋轉(zhuǎn)角度360° 無窮±180°
提升行程110mm120mm
最小旋轉(zhuǎn)直徑 *980mm960mm
有效載荷能力（包括手）1kg1kg
操作速度伸縮式Max 1.5sec / 全行程最大限度　1.5sec/780mm
把Max 2.0sec / 180°Max 2.0sec / 180°
提升Max 1.5sec / 20mmMax 3.5sec / 105mm
可重復(fù)位置精度伸縮式±0.1mm±0.1mm
把±0.1mm±0.1mm
提升±0.1mm±0.1mm
示教器歸屬感歸屬感
控制器分開分開
取決于安裝臂和手。


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