特征

• 在接近大氣壓下，抽氣速度可達(dá) 80m3 ^/ h，與傳統(tǒng)真空泵相比，抽氣時(shí)間縮短了約 20%。

• 標(biāo)配的專用消音器消除了干式真空泵的噪音問題。達(dá)到最大壓力時(shí)的噪音水平為 61 分貝(A) 或更低，即使在運(yùn)行過程中也幾乎聽不到。(*1)

• ECO-SHOCK 技術(shù)是 C 型規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)配置，也是 ULVAC 的專有節(jié)能技術(shù)。它能將極限壓力下的功耗降低至 0.6kW 或更低。(*2)

• “LS 型號"無需軸封氣體。這降低了主要使用氮?dú)饣驈U氣的潔凈工藝的運(yùn)行成本。(*3)

• 對于那些希望進(jìn)一步提高抽水速度的人，我們建議將其與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用，這樣可以達(dá)到120-1200^{立方米/小時(shí)。}

（*1）對于 LS120A-C　
（*2）對于 C 規(guī)格　
（*3）對于 L 規(guī)格，也可以提供吹掃氣體。

目的

C 規(guī)格：潔凈工藝 (LS***AC)
　特點(diǎn)：低功耗型，內(nèi)置 ECO-SHOCK
　應(yīng)用：適用于潔凈排氣，如空氣排氣和 N2_排氣，濺射/沉積/鍵合/裝載鎖定室/TMP 輔助等。

L 規(guī)格：輕工藝 (LS***AL)
　特點(diǎn)：輕工藝類型，具有表面處理和吹掃功能
　應(yīng)用：適用于輕工藝，例如排出水蒸氣和揮發(fā)性化學(xué)品、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)應(yīng)用等。

規(guī)格

排氣速度曲線

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

方面