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產(chǎn)品型號：MS120A
更新時間：2025-11-11
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：85
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產(chǎn)品分類
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MS型真空泵屬于螺桿式干式真空泵。它在傳統(tǒng)的LS型真空泵基礎上進行了改進，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能，是一款耐腐蝕性更強的干式真空泵。該真空泵專為涉及腐蝕性氣體和粉末排出的真空工藝而設計。
MS120A
MS600A
MS1200A
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，可以實現(xiàn)高耐腐蝕性。
ULVAC獨特的螺旋式轉(zhuǎn)子軸設計實現(xiàn)了高粉末排出性能。
從大氣壓到極限壓力，整個壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運行。
電子元件和半導體制造設備、蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等的真空排氣系統(tǒng)。
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鋰電池制造設備、
電極干燥設備、脫氣設備、液體噴射設備等的真空排氣系統(tǒng)。
用于醫(yī)療和食品相關設備的真空排氣冷凍
干燥設備、真空干燥設備等。
*MS1200A 可提供其他控制板和傳感器規(guī)格。詳情請聯(lián)系我們。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大泵速*1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 賓夕法尼亞州 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大約功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體體積*1 | 空間光調(diào)制 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理能力 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音等級 *2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50（水平）/ VG50（垂直） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合規(guī)標準 | CE、cTUVus | |||
| 標準配件 | 快速使用手冊、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器保護罩、專用消音器套裝 | |||
| 主機選項 | 電源電壓：200V 或 400V 級； 密封材料：氟橡膠 (FKM) 或全氟橡膠 (FFKM) | |||
| 外部選項 | 外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進氣口、信號燈）、吹掃氣閥 | |||
*1：代表值
*2：極限壓力下的值
*3：使用吹掃氣體時的最大水蒸氣通量
*4：包含消音器
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