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產(chǎn)品型號(hào):MS120A
更新時(shí)間:2025-11-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:39
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產(chǎn)品分類
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MS型真空泵屬于螺桿式干式真空泵。它在傳統(tǒng)的LS型真空泵基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn),提高了耐腐蝕性和粉末排出性能,是一款耐腐蝕性更強(qiáng)的干式真空泵。該真空泵專為涉及腐蝕性氣體和粉末排出的真空工藝而設(shè)計(jì)。

MS120A

MS600A

MS1200A
通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊表面處理,可以實(shí)現(xiàn)高耐腐蝕性。
ULVAC獨(dú)特的螺旋式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高粉末排出性能。
從大氣壓到極限壓力,整個(gè)壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運(yùn)行。
電子元件和半導(dǎo)體制造設(shè)備、蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
真空熱處理爐、
燒結(jié)爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)。
鋰電池制造設(shè)備、
電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、液體噴射設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
用于醫(yī)療和食品相關(guān)設(shè)備的真空排氣冷凍
干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
*MS1200A 可提供其他控制板和傳感器規(guī)格。詳情請(qǐng)聯(lián)系我們。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大泵速*1 | 立方米/小時(shí) | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 賓夕法尼亞州 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 電源電壓 | 三相,50/60Hz,AC200-240V±10% 或 三相,50/60Hz,AC380-480V±10% | |||
| 大約功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體體積*1 | 空間光調(diào)制 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理能力 *1*3 | 公斤/小時(shí) | 1.5 | ||
| 噪音等級(jí) *2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 進(jìn)氣口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合規(guī)標(biāo)準(zhǔn) | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 快速使用手冊(cè)、電源連接器、防水電纜夾、信號(hào)連接器、電源連接器保護(hù)罩、專用消音器套裝 | |||
| 主機(jī)選項(xiàng) | 電源電壓:200V 或 400V 級(jí); 密封材料:氟橡膠 (FKM) 或全氟橡膠 (FFKM) | |||
| 外部選項(xiàng) | 外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元(進(jìn)氣口、信號(hào)燈)、吹掃氣閥 | |||
*1:代表值
*2:極限壓力下的值
*3:使用吹掃氣體時(shí)的最大水蒸氣通量
*4:包含消音器
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