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更新時間:2025-07-10
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荏原 (EBARA) 高溫技術支持高負荷工藝,在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產(chǎn)生反應副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能,可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容,可以處理各種高負荷工藝。