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ULVAC（日本愛發(fā)科）的核心產(chǎn)品
更新時間：2026-02-03
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一、真空泵類
油旋片式真空泵
GLD 系列：如 GLD051、GLD280、GLD-N137、GLD-N202 等，具備低噪音（<74dB）、低振動特性，支持 24 小時連續(xù)運行，廣泛用于半導(dǎo)體鍍膜、實驗室真空系統(tǒng)、空調(diào)生產(chǎn)等領(lǐng)域，在制冷行業(yè)占據(jù)較高份額。
VDN 系列：如 VDN-301、VDN-401、VDN601 等，可實現(xiàn) 10?2Pa 級粗真空，適配食品包裝、真空吸附、小型鍍膜設(shè)備等基礎(chǔ)真空工藝，性價比突出，是中小企業(yè)的熱門選擇。
VSN 系列：如 VSN1501、VSN2401，采用強制供油和缸體水冷方式，能應(yīng)對全壓強領(lǐng)域連續(xù)運轉(zhuǎn)，適用于電子、檢漏、干燥等對穩(wěn)定性要求高的場景。
干式真空泵
LS 系列螺桿型干泵：抽氣速度 120-1200m3/h，搭載 ECO-SHOCK 節(jié)能系統(tǒng)，高速排氣且低功耗，在鋰電池電極制造、電解液注液、化工反應(yīng)等新能源與化工領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，是 ULVAC 干式泵的爆款系列。
DIS/DISL 系列渦旋型干泵：低振動、低噪音，可在大氣壓下啟動運行，適用于半導(dǎo)體、精密儀器等對潔凈度要求高的工藝環(huán)節(jié)，如芯片制造中的真空傳輸系統(tǒng)。
DTC 系列隔膜型干泵：全 PTFE 材質(zhì)，可安全處理 Cl?、H?SO?等強腐蝕性氣體，是化工合成、真空蒸餾、醫(yī)藥中間體生產(chǎn)等場景的干泵。
羅茨泵及機組
NB 系列羅茨泵：如 NB100B、NB300B、NB600B、NB1200B、NB2400B 等，常與其他真空泵組合成機組，提升抽氣效率，廣泛用于大型真空鍍膜、半導(dǎo)體刻蝕、光伏電池生產(chǎn)等中高真空工藝。
YM 系列羅茨泵機組：集成化設(shè)計，安裝便捷，適配工業(yè)批量生產(chǎn)場景，在制冷、電子行業(yè)的真空干燥、檢漏環(huán)節(jié)應(yīng)用普遍。
二、真空鍍膜與成膜設(shè)備
PVD 系列物理氣相沉積設(shè)備：在空調(diào)等制冷行業(yè)占據(jù)大部分市場，可實現(xiàn)金屬膜、氧化物膜等沉積，用于空調(diào)換熱器、零部件的防腐與功能涂層制備，是寧波愛發(fā)科的核心生產(chǎn)與銷售產(chǎn)品之一。
Ei/Esz 系列蒸發(fā)設(shè)備：Batch 式高真空蒸發(fā)設(shè)備，如 ei-5z、ei-7z、Esz-R 等，可在基板上沉積金屬、氧化物等薄膜，適配光學(xué)鏡片、電子元件、裝飾件等的鍍膜需求，操作面板集中控制，自動化程度高，在光學(xué)、電子行業(yè)應(yīng)用廣泛。
NE 系列沉積設(shè)備：如 NE-550EXz，采用 Load-Lock 氣閘室結(jié)構(gòu)，支持 2-8 英寸基板全自動處理，兼容金屬、GaN、InP 等多種材料，是半導(dǎo)體、光電子器件制造的關(guān)鍵成膜設(shè)備，在電子制造領(lǐng)域銷量穩(wěn)定。
三、真空測量儀器
皮拉尼真空計 SW 系列及表頭 ISG1：2009 年推出，適配中低真空范圍測量，響應(yīng)速度快，可與多種真空泵、真空系統(tǒng)集成，廣泛用于工業(yè)真空設(shè)備的實時監(jiān)測，是寧波愛發(fā)科的主打測量產(chǎn)品之一。
Gatch 系列真空計：覆蓋粗真空到高真空測量范圍，精度等級豐富，適配半導(dǎo)體、科研、化工等不同場景的真空度檢測需求，是 ULVAC 真空測量儀器的經(jīng)典系列，市場認(rèn)可度高。
四、其他熱門配套產(chǎn)品
NOC 系列油凈化裝置：與油旋片真空泵配套使用，可過濾、凈化真空泵油，延長油品使用壽命，降低設(shè)備維護成本，是真空泵用戶的剛需配套產(chǎn)品。
NWS 系列油水分離器：用于分離真空泵排氣中的油和水，減少環(huán)境污染，適配化工、制藥等對環(huán)保要求高的行業(yè)，與干式、油式真空泵組合銷售，銷量穩(wěn)定。
