日本真空計(jì)以其高精度、寬量程及良好的環(huán)境適應(yīng)性等優(yōu)勢(shì),在半導(dǎo)體、真空鍍膜等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,具體優(yōu)點(diǎn)如下:
測(cè)量精度高:部分日本真空計(jì)采用先進(jìn)的測(cè)量原理和技術(shù),如日本 wsc 數(shù)字廣域真空計(jì) WVG-8802DM 型,將皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)相結(jié)合,能自動(dòng)切換測(cè)量模式,確保測(cè)量的連續(xù)性和準(zhǔn)確性。OKANO 岡野的 APG-202N32 真空計(jì)精度可達(dá) ±0.25% FS±1dig。
測(cè)量范圍廣:許多日本真空計(jì)可覆蓋較寬的壓力范圍,滿足不同場(chǎng)景需求。如岡野制作所的 AMC 型真空計(jì),測(cè)量范圍為 5.0×10?2~1.0×10?Pa。WVG-8802DM 型真空計(jì)測(cè)量范圍能從 4.9×102Pa 到 1.0×10??Pa。
穩(wěn)定性好:一些真空計(jì)具備自動(dòng)零點(diǎn)校正功能,可減少溫度漂移影響,如 OKANO 的 GP 系列真空計(jì)。日本山武 azbil 藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)采用零點(diǎn)不易漂移的構(gòu)造,且通過(guò)先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù),實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測(cè)。
響應(yīng)速度快:部分產(chǎn)品響應(yīng)時(shí)間短,能快速反映真空度變化,適用于動(dòng)態(tài)真空控制。如 OKANO 的熱規(guī)(GP 系列)響應(yīng)時(shí)間<0.5 秒。
抗干擾與抗污染能力強(qiáng):OKANO 的電離規(guī)采用抗氧化陰極(IG-500A),壽命延長(zhǎng) 3 倍,電容規(guī)(CG 系列)全金屬密封,耐酸堿腐蝕。愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)由高度耐腐蝕的鉑制成燈絲,且具有高抗沖擊性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
功能多樣便捷:日本真空計(jì)通常具備多種實(shí)用功能,部分真空計(jì)配備外部觸點(diǎn),可通過(guò)數(shù)字開關(guān)任意設(shè)置壓力,還具備燈絲遠(yuǎn)程 ON/OFF、燈絲斷開信號(hào)等控制信號(hào),便于集成到自動(dòng)化設(shè)備中。一些真空計(jì)還設(shè)有燈絲加熱清洗功能,可去除燈絲上的油分等附著物,保持測(cè)量準(zhǔn)確性。