日本真空計以其高精度、寬量程及良好的環(huán)境適應(yīng)性等優(yōu)勢,在半導(dǎo)體、真空鍍膜等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,具體優(yōu)點如下:
測量精度高:部分日本真空計采用先進(jìn)的測量原理和技術(shù),如日本 wsc 數(shù)字廣域真空計 WVG-8802DM 型,將皮拉尼真空計和電離真空計相結(jié)合,能自動切換測量模式,確保測量的連續(xù)性和準(zhǔn)確性。OKANO 岡野的 APG-202N32 真空計精度可達(dá) ±0.25% FS±1dig。
測量范圍廣:許多日本真空計可覆蓋較寬的壓力范圍,滿足不同場景需求。如岡野制作所的 AMC 型真空計,測量范圍為 5.0×10?2~1.0×10?Pa。WVG-8802DM 型真空計測量范圍能從 4.9×102Pa 到 1.0×10??Pa。
穩(wěn)定性好:一些真空計具備自動零點校正功能,可減少溫度漂移影響,如 OKANO 的 GP 系列真空計。日本山武 azbil 藍(lán)寶石隔膜真空計采用零點不易漂移的構(gòu)造,且通過先進(jìn)的信號處理技術(shù),實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。
響應(yīng)速度快:部分產(chǎn)品響應(yīng)時間短,能快速反映真空度變化,適用于動態(tài)真空控制。如 OKANO 的熱規(guī)(GP 系列)響應(yīng)時間<0.5 秒。
抗干擾與抗污染能力強(qiáng):OKANO 的電離規(guī)采用抗氧化陰極(IG-500A),壽命延長 3 倍,電容規(guī)(CG 系列)全金屬密封,耐酸堿腐蝕。愛發(fā)科皮拉尼真空計由高度耐腐蝕的鉑制成燈絲,且具有高抗沖擊性的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
功能多樣便捷:日本真空計通常具備多種實用功能,部分真空計配備外部觸點,可通過數(shù)字開關(guān)任意設(shè)置壓力,還具備燈絲遠(yuǎn)程 ON/OFF、燈絲斷開信號等控制信號,便于集成到自動化設(shè)備中。一些真空計還設(shè)有燈絲加熱清洗功能,可去除燈絲上的油分等附著物,保持測量準(zhǔn)確性。